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Forschungen der Mikrosystemtechnik bekannt machen und Nachwuchswissenschaftler fördern

Die Preisträger für den Silicon Science Award 2019 des CiS e.V. und der CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH wurden geehrt.

Prof. Thomas Ortlepp (v.l.), Geschäftsführer des CiS Forschungsinstitut, mit Preisträger Dr. Silvio Fuchs von der FSU Jena und Geert Brokmann, Vorstandsmitglied des CiS e.V.. Foto: CiS

Regelmäßig vergibt der CiS e.V. gemeinsam mit der CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, ein An-Institut der TU Ilmenau, den Silicon Science Award für herausragende wissenschaftliche Leistungen auf dem Gebieten der Mikrosystemtechnik. Der CiS e.V. will Nachwuchswissenschaftlern ermutigen, sich mit diesen Themen und Forschungsaufgaben auseinander zu setzen und ihre Arbeiten einer breiten Öffentlichkeit vorzustellen. Insgesamt stellen die Stifter 4.000 Euro Preisgeld zur Verfügung für verschiedene Kategorien. 2019 durften sich drei Preisträger über die Auszeichnung freuen.

Kraftsensor in Hohlnadel integriert

In der Kategorie Bachelorarbeiten wird die Arbeit von Sonja Wismath, TU Darmstadt, Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik prämiert. Sie überzeugte mit dem Thema „Aufbau eines in eine Hohlnadel integrierten Kraftsensors“. Dafür nutzte sie piezoresistive Dehnungselemente auf Siliziumbasis und entwickelte einen innovativen Herstellungsprozess, der patentiert (DE 10 2017 105 053 1) und am 13.09.2018 veröffentlicht wurde.

In der Kategorie Dissertationen werden zwei Preisträger gekürt. Die Dissertation „Optische Kohärenztomographie mit extrem ultravioletter Strahlung“ von Dr. Silvio Fuchs beinhaltet einen Beitrag über die Entwicklung eines neuartigen Verfahrens zur zerstörungsfreien nanoskaligen Abbildung dreidimensionaler Strukturen. Das Verfahren ist im gegenwärtigen Entwicklungsstadium besonders zur Abbildung schichtartiger Strukturen in siliziumbasierten Proben, einschließlich der Identifikation der Materialien geeignet. Erste Unternehmen haben bereits Interesse an der Nutzung signalisiert. Dr. Fuchs erarbeitete seine Dissertation an der FSU Jena, Institut für Optik und Quantenelektronik. Zusammen mit zwei Kollegen gründete er das Spin-off-Unternehmen „Indigo Optical Systems GmbH“ vor zwei Jahren, welches XUV-Messtechnik entwickelt, produziert und vertreibt.

Wissenschaftler der TU Ilmenau erhielt Preis

Ebenfalls prämiert wird die Dissertation von Dr. Robert Täschner. Sein Thema „Prozess- und Sensorentwicklung für fertigungsgerechte hochtemperaturtaugliche Drucksensorsysteme auf Siliziumbasis“ umfasst einen wissenschaftlich fundierten und in vielen Aspekten praxisrelevanten Beitrag zum Entwurf miniaturisierter Drucksensoren für Einsatzbereiche bis 300°C. Im Mittelpunkt seiner Untersuchungen steht konsequent der Nachweis von Prozesstauglichkeit und damit Serienfertigung. Mit einer hohen Variantenvielfalt an Experimenten sowie umfangreicher mechanischer und elektrischer Tests werden quantitativ statistische Aussagen abgesichert. Dr. Täschner fertigte seine Dissertation an der TU Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, an.  

Die nächste Auslobung des Silicon Science Awards erfolgt Anfang 2021. Prämierungen können in den Kategorien Bachelor-, Master- und Diplomarbeiten sowie Dissertationen vergeben werden. Alle Arbeiten, die eingereicht werden, müssen in dem Zeitraum von September 2019 bis zum Einreichungstermin 30. März 2021 entstanden sein.